膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

膜厚測定 アプリケーション

膜厚測定 アプリケーション

膜厚測定 ・ 屈折率測定 ・ 分光応用測定

分光干渉を利用した膜厚測定システムは,非接触・非破壊,簡便かつ高精度な膜厚測定,屈折率測定が可能です. 様々な膜材料,多層膜など複雑な層構造,広い膜厚レンジに対応可能なことから,バリエーション豊かなアプリケーションが生まれています. また,分光測定は光物性に関する非常に多くの情報をもたらすため,膜厚・屈折率測定以外にも多彩なアプリケーションが存在します. ここでは,様々な膜厚測定アプリケーション,屈折率測定アプリケーション,そして反射率や透過率などの分光応用アプリケーションを紹介します.

膜厚測定,屈折率測定(分光干渉法)

顕微分光測定,顕微膜厚測定(分光干渉法)

分光応用測定

分光エリプソメトリー

テクノシナジーの膜厚測定システム
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