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膜厚測定 製品ラインナップ
分光干渉を利用した膜厚測定システムは,非接触・非破壊,簡便かつ高精度な膜厚測定が可能です.
誘電体,半導体など様々な膜材料の測定ができ,多層膜,屈折率傾斜膜,光学異方性膜など複雑な層構造の解析が可能で,広い膜厚レンジ(シングルnm 〜 数十μm)に対応できるなど多くの特長があります.
また,膜厚測定だけではなく,所望の波長領域(真空紫外:193 nm 〜 赤外:30μm)における光学定数(屈折率:n ,消衰係数:k )のスペクトル測定が可能です.
テクノシナジーは,お客様のニーズに最適な膜厚測定システムを提案いたします.
製品ラインナップ
光学膜厚測定システム
DF-1045R
測定反射率スペクトルから薄膜の膜厚・光学定数を簡便に測定するスタンダードな光学膜厚測定システム.SCOUT搭載.
顕微分光システム
DF-1037シリーズ
薄膜の膜厚測定に最適化された顕微分光システム.広いスペクトル測定レンジで微小領域の膜厚測定が可能.SCOUT搭載.
分光エリプソメーター
RC2 / M-2000
回転補償子型光速分光エリプソメーター.高い測定精度,広い測定波長範囲,ミュラー行列測定.あらゆる薄膜測定のニーズに対応.
光学膜厚測定システム
DF-1045RT
反射率スペクトル/透過率スペクトル測定に対応した光学膜厚測定システム.柔軟な測定レイアウトに対応.SCOUT搭載.
簡易反射ステージ
SS-Rシリーズ
高コストパフォーマンスのサンプルステージ.光源,分光器,光ファイバー等と組合せて,簡便に反射率スペクトル測定.
スペクトル解析ソフトウエア
SCOUT
薄膜サンプルの分光測定スペクトルから,膜厚,光学定数を求めるスペクトル解析ソフトウエア.柔軟でパワフルな解析が可能.
テクノシナジーの膜厚測定システム
膜厚測定 製品ラインナップ
Product
膜厚測定 アプリケーション
Application
膜厚測定 分析サービス
Service