膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

膜厚測定 製品ラインナップ

膜厚測定 製品ラインナップ

分光干渉を利用した膜厚測定システムは,非接触・非破壊,簡便かつ高精度な膜厚測定が可能です. 誘電体,半導体など様々な膜材料の測定ができ,多層膜,屈折率傾斜膜,光学異方性膜など複雑な層構造の解析が可能で,広い膜厚レンジ(シングルnm 〜 数十μm)に対応できるなど多くの特長があります. また,膜厚測定だけではなく,所望の波長領域(真空紫外:193 nm 〜 赤外:30μm)における光学定数(屈折率:n ,消衰係数:k )のスペクトル測定が可能です.
テクノシナジーは,お客様のニーズに最適な膜厚測定システムを提案いたします.

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