膜厚測定製品ラインナップ

顕微分光システム　DF-1037シリーズ

DF-1037シリーズは，ミクロ領域における薄膜の膜厚測定に最適化された顕微分光システムです．新設計コールドフィルターWECFの採用による広いスペクトル測定レンジ（約380〜960nm），高解像度デジタル画像撮影，スペクトル解析ソフトウエアSCOUTを用いた薄膜サンプルの膜厚・光学定数解析など，高度なご要求にお答えする充実した機能が搭載されています．

DF-1037シリーズ（偏光オプション装着タイプ）

※測定のご要求，サンプル形状などに合わせたカスタマイズが可能です．
仕様詳細についてはお問い合わせください．

特長

膜厚測定，光学定数解析に最適化された顕微分光システム
新設計コールドフィルターWECFを採用．広帯域顕微分光測定を実現
顕微分光測定と高解像度デジタル画像撮影を簡単切換
スペクトル解析ソフトウエアSCOUTにより多層膜などの薄膜解析に対応
顕微分光測定と豊富な顕微鏡オプションを利用したサンプル観察を両立

ラインナップ

DF-1037シリーズでは，反射測定専用タイプ，透過測定専用タイプ，反射測定/透過測定切り替えタイプが選択可能です． DF-1037シリーズは，ニコン製顕微鏡ECLIPSEをビルドアップしているため，顕微鏡の観察機能や拡張性を生かし，偏光オプション，LED光源オプションなど豊富なオプションが装着可能です．

ユニット構成，ステージ，対物レンズ，顕微鏡オプション，分光器などの選択によって，システムアップには多くのバリエーションが存在しますので，システム構成についてはお気軽にご相談ください．

広帯域顕微分光

DF-1037シリーズは，新設計コールドフィルターWECFの採用によって広帯域のスペクトル測定が可能です．

● シリコン基板上のZrO膜（膜厚：約65 nm）のスペクトル測定例

(a)は，通常の顕微鏡にCCD分光器を光ファイバー接続して測定した場合の反射率スペクトルです．対物レンズはLU Plan Fluor 10x/0.30を使用し，約φ10µmの領域を測定しています．
一方，(b)は，DF-1037で測定した反射率スペクトルです．WECFの採用により，紫外領域/赤外領域ともに波長拡張されており，膜の屈折率と膜厚から予想されるシミュレーション結果と非常に良く一致していることが確認できます．

高解像度デジタル画像撮影

DF-1037シリーズでは，マイクロフォーサーズ規格のCMOSカメラを標準採用しており，高解像度デジタル画像撮影が可能です．マイクロフォーサーズの撮像素子は記録対角長が約22 mmで，Cマウントのフランジバック位置における視野像の直径とほぼ等しいため，接眼で見たイメージ通りのデジタル画像撮影が行えます．また，フルハイビジョン動画の撮影が可能で，16GBのSDHCメモリーカードに最大2時間録画できます．

● ネガテストターゲットの画像撮影例

対物レンズはLU Plan ELWD 20x/0.40を使用し，Lumix GH2の画質を4000 × 3000画素（1200万画素相当）に設定して撮影してます．部分拡大像(b)で確認できるように，十分な画素解像度が得られています^※1．

※1：写真はデジタル画像の画素解像度について説明したものであり，顕微鏡の光学分解能を示すものではありません．

膜厚測定例

● シリコン基板上のAl₂O₃膜（膜厚：約90 nm）

対物レンズはLU Plan Fluor 10x/0.30を使用して約φ10µmの領域でスペクトル測定を行い，SCOUTで解析しました．(a)のように，光学モデルから計算されたシミュレーションとのフィッティングは，波長全域に渡って非常によく一致しています．収束値から，Al₂O₃膜の膜厚は 90.1 nm，屈折率 n は(b)の波長分散が得られ，消衰係数 k は測定波長全域で0となりました．