膜厚測定製品ラインナップ

光学膜厚測定システム　DF-1045RT

DF-1045RTは，反射率スペクトル／透過率スペクトル測定から，薄膜の膜厚・光学定数測定を簡便に行うことができる光学膜厚測定システムです．小型CCD分光器の採用により，省スペース，高速スペクトル測定を実現しました．柔軟で高機能なスペクトル解析ソフトウエアSCOUTを搭載しているため，多層膜解析などの様々な膜解析アプリケーションに対応可能です．

DF-1045RT光学部のセットアップ例

※測定のご要求，サンプル形状などに合わせたカスタマイズが可能です．
仕様詳細についてはお問い合わせください．

特長

膜厚・光学定数に必要なスペクトル測定機能をデスクトップサイズに凝縮
高性能収差補正コリメーターにより入射角0°のスペクトル測定を実現
反射率スペクトル，透過率スペクトルを同一領域で測定可能
スペクトル解析ソフトウエアSCOUTにより多層膜など高度な膜解析に対応
スペクトル測定から膜厚解析までのシークエンスを簡単操作

反射率スペクトル測定部

■ CCD分光器
受光素子	3648素子リニアシリコンCCDアレイ
測定波長範囲	約380 ～ 1000 nm ※サンプル，測定条件で変わります
S/N比	300 : 1 (full signal時）
積算時間	4 ms～10 s
PC インターフェース	USB2.0
A/D分解能	16bit

■ ハロゲン光源
消費電力	7W
色温度	2800K
バルブ寿命	10,000時間

■ 光ファイバー
標準付属	反射測定用2分岐ファイバー，透過測定用パッチコード
仕様	入射コアΦ100µm, 出射コアΦ200µm, 波長帯： UV/VIS
	長さ：2 m，コネクタ：両端SMA

■ サンプルステージ
形式	縦型光学ベンチ，ベースサイズ：250 x 250 mm，ベンチ高さ：500 mm
サンプル面板	100 mm角
サンプルステージ	サンプル調整用 αβ傾斜ステージ：±2°

■ 集光系
コリメーター	2群3枚無限遠補正レンズ（広帯域収差補正，広帯域ARコーティング）
光軸調整	αβ傾斜ステージ
ビーム径	目盛付きリング作動アイリス, 約Φ1～Φ5mm可変(手動シャッター付き)

■ 測定制御・解析
ハードウエア	測定解析用PC
ソフトウエア	スペクトル測定： Spectra JB2 スペクトル解析：SCOUT

スペクトル測定解析部

DF-1045RTでは，測定反射率スペクトルに対してシミュレーションスペクトルをフィッティングし，膜厚，光学定数などを求めます．スペクトル測定ソフトウエアSpectra JBで反射率スペクトルを測定し，スペクトル解析ソフトウエアSCOUTを用いて解析を行います．柔軟で強力なSCOUTのスペクトル解析は，複雑な層構造サンプルの膜厚測定にも対応可能で，誘電体，半導体，金属をカバーする豊富な誘電関数モデル（光学定数モデル）が付属しています．

■ 誘電関数モデル（光学定数モデル）

Drudeモデル（フリーキャリア），拡張Drudeモデル（周波数依存キャリアダンピングを持つフリーキャリア），調和振動子モデル，Brendelモデル，Kimモデル，OJLモデル，Campi-Coriassoモデル，Tauc-Lorentzモデル，Cauchyの分散式などの近似式，ユーザー定義誘電関数，各種文献データベース（300種類以上の誘電関数/光学定数スペクトル）．

■ 不均質膜を記述する有効媒質近似

Maxwell Garnettモデル，Bruggemanモデル，Looyengaモデル，Bergman表記．

層構造内の光の伝搬

コヒーレント/インコヒーレント属性設定，ラフインターフェースにおける散乱ロスの補償，入射偏光選択，膜厚の面内不均一性を測定領域内で平均化，超格子構造の記述，光学定数などのデプスプロファイリング，光学異方性媒質の記述，測定ビームの入射角分布エミュレーション，分光器の波長分解能エミュレーション．

スペクトル測定解析例

● Ta₂O₅膜の膜厚・光学定数測定

DF-1045RTでは，透過率スペクトルと反射率スペクトルを同一の測定スポットで測定することができます．本測定解析例では，BK7ガラス基板上のTa₂O₅膜（約790nm）をサンプルにして，測定した反射率および透過率スペクトルをSCOUTでフィッティング解析して，Ta₂O₅膜の膜厚：791.4nmおよび光学定数スペクトルを求めています．

膜厚測定アプリケーション｜透過率スペクトル/反射率スペクトルの測定解析