膜厚測定製品ラインナップ

簡易反射ステージ　SS-Rシリーズ

簡易反射ステージSS-Rシリーズは，ハロゲン光源，CCD分光器，光ファイバーなどと組み合わせて，簡便に反射率スペクトル測定を行うことができるサンプルステージです．分光反射率測定に必要な機能に絞ることで，シンプルかつコンパクト，コストパフォーマンスの高いサンプルステージが実現しました．

SS-01R（反射プローブ用）

オーシャンインサイト社製反射プローブ用の簡易反射ステージです．

反射測定用簡易ステージ　SS-01R

反射プローブ（別売）を用いたシンプルな分光反射率測定
反射プローブ固定の自由度が高く，自由なワーキングディスタンスに設定可能
市販 60 mm角ステージ（固定ネジM4，50 mmピッチ）が装着可能
ダーク測定のためのシャッター板が標準付属
拡散反射測定（入射角：45°，または任意入射角）に対応

SS-01Rを使った拡散反射測定

※測定のご要求，サンプル形状などに合わせたカスタマイズが可能です．
仕様詳細についてはお問い合わせください．

SS-02R（光ファイバーコリメーター用）

テクノシナジー社製広帯域光ファイバーコリメーターBBFC-03SMA用の簡易反射ステージです．

反射測定用簡易ステージ　SS-02R：ステージ装着例

広帯域光ファイバーコリメーター（別売）を使用した分光反射率測定
コリメート光学系のため，光の利用率が高く，高速測定が可能
光軸調整用αβ傾斜ステージを用いた正確な光軸調整
コリメート光学系のため，長いワーキングディスタンスでの測定が可能
目盛り付き虹彩絞りによるビーム径可変（約Φ1〜5 mm）
市販 60 mm角ステージ（固定ネジM4，50 mmピッチ）が装着可能
ダーク測定のためのシャッター板が標準付属

関連部品：可視領域の分光測定に最適設計
広帯域光ファイバーコリメーター　BBFC-03SMA

※測定のご要求，サンプル形状などに合わせたカスタマイズが可能です．
仕様詳細についてはお問い合わせください．

スペクトル測定解析例

● シリコン熱酸化膜（SiO₂膜）の膜厚測定

キャリブレーションデータ付き膜厚標準ウエハ（シリコン熱酸化膜）の反射率スペクトルを，簡易サンプルステージ：SS-02R，光ファイバーコリメーター：BBFC-02SMA，光源：HL-2000-LL，分光器：QE65000を使って測定し，スペクトル解析ソフトウエアSCOUTで膜厚解析しました．エリプソメーターでキャリブレーションした公称膜厚値と非常によく一致しています．