膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

膜厚測定 分析サービス

膜厚測定,依頼分析サービス

分光干渉法を使った膜厚・光学定数測定,分光エリプソ測定,顕微分光測定,反射率,透過率,吸収,フォトルミネッセンスなどのスペクトル測定解析の分光分析サービスをリーズナブルな価格で提供いたします.弊社では,装置開発,アプリケーション開発,技術コンサルティングも行ってますので,膜厚測定,分光測定解析でお困りでしたら,お気軽にご相談ください.最適な測定解析ソリューションを提案させていただきます.

 

光学膜厚測定システム・CCD分光システム

分光干渉法を使った膜厚・光学定数測定サービスです.CCD分光システムとスペクトルフィッティング解析ソフトウエアSCOUTを組み合わせ,可視を中心とした波長領域で測定解析を行います.測定領域:φ1〜φ5mm程度のコリメート光を使った同一スポットでの透過率・反射率測定に対応できるので,膜厚数10nm以上の比較的厚い膜サンプルであれば,リーズナブルな価格で膜厚測定をすることができます.反射率,透過率,吸収,フォトルミネッセンスなど様々なスペクトル測定解析にもご利用いただけます.膜厚測定,分光測定のご要望があればご相談ください.

  • 反射反射
  • 透過透過
  • 発光発光
  • 蛍光蛍光
  • 偏光偏光
  • 溶液溶液
  • 拡散反射 拡散反射
  • clear
  • 可視可視
  • 近赤外近赤外
  • 膜厚膜厚
  • 屈折率屈折率
  • 誘電率誘電率
  • 反射率反射率
  • 透過率透過率
  • 吸収吸収
  • ギャップギャップ
  • 平行光平行光
  • 集光光集光光
  • プローブプローブ
  • 時間変化時間変化
  • 積分球積分球

顕微分光システム

顕微分光システムDF-1037シリーズを使用して,測定スポット径約φ2µm〜φ100µmにおける可視領域(約400nm ~950nm)における顕微分光測定が可能です.対応可能な測定モードは,透過スペクトル,反射スペクトル,偏光透過スペクトル,偏光反射スペクトル,フォトルミネッセンススペクトルなどです(測定波長領域は,測定モード,サンプル状態により変わります).反射スペクトル測定の場合,顕微干渉分光法を用いて,サンプル膜厚,光学定数を求めることができます.また,サンプル上の分光測定領域をデジタル画像で記録することが可能です.

  • 顕微反射顕微反射
  • 顕微透過顕微透過
  • 発光発光
  • 蛍光蛍光
  • 偏光偏光
  • 溶液溶液
  • clear
  • 可視可視
  • 膜厚膜厚
  • 屈折率屈折率
  • 誘電率誘電率
  • 反射率反射率
  • 透過率透過率
  • 吸収吸収
  • ギャップギャップ
  • clear
  • 時間変化時間変化
  • 画像撮影画像撮影

分光エリプソメーター

回転補償子型分光エリプソメーター(J. A. Woollam社製)を使った膜厚測定サービスです.薄膜サンプルや複雑な層構造を持つサンプルの膜厚,光学定数測定には,分光エリプソメトリーが力を発揮します.半導体の電子分極領域の解析に必要なディープUV領域から,有機物のキャラクタリゼーション,半導体不純物キャリア濃度測定に有効なIR領域に至る全ての波長帯における測定・解析に対応いたします.J. A. Woollam製多入射角高速分光エリプソメーターを用いることで,多層膜サンプル,光学異方性サンプル,屈折率傾斜膜サンプルなどの高度な解析要求にお答えします.薄膜測定でお困りでしたら,ご相談ください.最適な解析ソリューションを提案させていただきます.
※ 温調測定,溶液セル測定は,装置受注後に受託可能な測定です.

  • エリプソエリプソ
  • 偏光偏光
  • 透過透過
  • clear
  • 深紫外深紫外
  • 紫外紫外
  • 可視可視
  • 近赤外近赤外
  • 赤外赤外
  • 膜厚膜厚
  • 屈折率屈折率
  • 誘電率誘電率
  • 表面粗さ表面粗さ
  • 異方性異方性
  • 傾斜膜傾斜膜
  • 混合比混合比
  • 導電性導電性
  • ギャップギャップ
  • 偏光度偏光度
  • 反射率反射率
  • 透過率透過率
  • 吸収吸収
  • clear
  • マップマップ
  • 集光集光
  • 温調温調
  • 溶液溶液

スペクトル解析

40年以上に渡る分光システム開発,光計測装置開発,分光エリプソメーター開発,各種光学アプリケーション開発などの豊富な経験を活かし,あなたのスペクトル解析をお手伝いします.透過率スペクトル,反射率スペクトル,吸収スペクトル,分光エリプソデータなどの測定スペクトルに対して,光学モデルシミュレーションをベースにしたスペクトルフィッティング解析を行います.「分光光度計の測定スペクトルから膜厚を決定したい」,「分光光度計は所有しているが,スペクトル解析の仕方が分からない」,「スペクトルから光学定数を求めたい」など分光解析でお困りでしたらご連絡ください.

  • 反射反射
  • 透過透過
  • 顕微反射顕微反射
  • 顕微透過顕微透過
  • 蛍光蛍光
  • 偏光偏光
  • 溶液溶液
  • ATRATR
  • 深紫外深紫外
  • 紫外紫外
  • 可視可視
  • 近赤外近赤外
  • 赤外赤外
  • THzTHz
  • 膜厚膜厚
  • 屈折率屈折率
  • 誘電率誘電率
  • 表面粗さ表面粗さ
  • ギャップギャップ
  • 導電性導電性
  • 反射率反射率
  • 透過率透過率
  • 吸収吸収

※サンプル形状,波長範囲など測定のご要求に可能な限り対応いたします.
測定の詳細についてはお問い合わせください.

テクノシナジーの膜厚測定システム
ページの先頭へ