膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

応用評価システム

精密反射率測定システム TRMS-200

精密反射率測定システム TRMS
精密反射率測定システムTRMS(Thermo Reflectance Measurement System)は,顕微鏡の空間分解能で,金属表面の精密な反射率計測を行える高精度顕微反射率測定システムです.波長780nmの高安定化半導体レーザー光源の搭載を始め,リアルタイム照射光量モニタリング,コンフォーカルピンホール,高消光比アイソレータ,低温度ドリフトフォトダイオードなどの採用によって,ノイズ発生源,ドリフト要因を徹底的に排除し,他に類を見ない反射率測定分解能0.00001レベルの超高感度顕微反射率測定システムを実現しました.
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偏光特性評価システム TP-1070

偏光特性評価システム TP-1070
TP-1070は,複数のLD光源/LED光源/分光光源を装備できる多目的の透過型偏光測定装置です.従来,複数台の高価な測定装置を用いて行っていた,偏光楕円率測定,無偏光位相差測定,偏光透過率測定,無偏光透過率測定,偏光変調測定など複数の測定モードを,ひとつの光学ワークベンチで行えるよう設計されています.TP-1070では,主要偏光光学素子が機能ブロックごとにユニット化されており,その着脱で測定モードを変更することができます.再現性の高いユニット着脱方式の採用により,高い拡張性と高信頼性を両立しました.

偏光制御型透過赤外共焦点レーザー顕微鏡システム ICLM-1

偏光制御型透過赤外共焦点レーザー顕微鏡システム ICLM-1
IICLM-1は,高周波動作のEO素子における偏光変化を微小観測スポットで観測することを目的としています.システムは,入射レーザー光および試料透過光の偏光状態を精密に制御する偏光コントローラーと透過型赤外域共焦点レーザー顕微鏡から構成されていて,両者はFCコネクター付きシングルモードファイバーで接続されています.顕微鏡の試料ステージには,プローバー(オプション)の装着が可能で,高周波ネットワーク・アナライザーと組み合わせて,EO素子を高周波電場駆動しながらの偏光変化計測が可能です.

光ディスク分光特性測定装置 OD-1050M

光ディスク分光特性測定装置 OD-1050M
OD-1050Mは,光ディスク材料薄膜の分光特性測定を目的とした高感度分光システムです.OD-1050Mでは,大きな集光立体角を持つ対物レンズにより集光されたサンプル光を光ファイバーによりロス無く分光器に導く集光系,大きなF値でありながら光検出器の受光領域全域で良好な結像性能を有する分光器,量子効率が高くS/N比のよい冷却高感度CCD光検出器の採用,不要散乱光をカットするエッジフィルターおよびノッチフィルターの装備など,極微弱光の高感度検出に最適化されています.

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