分光エリプソメーター
簡易高速分光エリプソメーター Alpha-SE
| J.A.Woollam Co., Inc. 製 薄膜の膜厚 / 屈折率測定の機能をコンパクトなボディーに凝縮, 理想的なテーブルトップ分光エリプソメーター：新型Alpha-SEの登場です. WVASE32の解析ノウハウを継承するAlpha-SE専用ソフトウエアは多くの光学定数モデルに対応しており. 様々な膜材料, 屈折率傾斜膜, 表面 / 界面粗さなどの解析が可能です. コンピューターへのデータ取り込みは, USBで接続するだけです. |
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赤外域多入射角分光エリプソメーター IR-VASE Mark II
| J.A.Woollam Co., Inc. 製 IR-VASE Mark IIは，FTIRが得意とする物質のキャラクタリゼーションと分光エリプソメトリーの高感度・高精度な薄膜解析を融合させた唯一の分光エリプソメーターです．波長1.7 ～ 30µm（333cm-1 〜 5900cm-1）の広い赤外領域で測定ができ，バイオテクノロジー，半導体，化学，光学，宇宙開発など分野を問わず，薄膜材料やバルク材料の強力な物性評価ツールとして力を発揮します． |
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» 膜厚測定製品：赤外域多入射角分光エリプソメーター IR-VASE Mark II 詳細を見る
真空紫外分光エリプソメーター VUV-VASE
| J.A.Woollam Co., Inc. 製 VUV-VASEは, 真空紫外領域140 nmからの測定が可能な分光エリプソメーターです. 電子分極領域の正確な複素屈折率測定が可能なことから, リソグラフィー使用波長 (157 nm, 193 nm, 248nm) における光学定数決定, 半導体, 電気化学, ポリマー金属など多様な物質の物性解析に対応可能です. 第二世代VUV-VASEでは, φ300 mmサンプルまでの分光エリプソメトリー測定 / 透過率測定, 自動サンプルステージを用いた面内分布計測に対応可能です. |
自動多入射角分光エリプソメーター V-VASE
| J.A.Woollam Co., Inc. 製 V-VASEは，広い波長領域 (193 nm ～ 2200 nm) の全ての入射角で, 偏光解析パラメーターΨ, Δを高精度に測定することができる研究開発に最適な分光エリプソメーターです. 垂直サンプルステージ, 水平サプルステージの選択取付けが可能で, 自動マッピングステージ装着により面内分布測定にも対応できます. また, 集光オプションを使用することで, 微小領域における測定が可能です. |
J.A.Woollam製分光エリプソメーター用マッピングステージ（オプション）
| 手動/自動ステージが選択でき，サンプルサイズ最大φ300mmまでの全自動マッピング測定が可能です． |
J.A.Woollam製分光エリプソメーター用集光とカメラ（オプション）
| 集光とカメラのオプションを装着することにより微小領域（約0.3 x 1mm）の測定が可能になります． |
