膜厚測定,光学定数測定,複素屈折率・複素誘電率シミュレーションのテクノ・シナジー

分光エリプソメーター

簡易高速分光エリプソメーター Alpha-SE
簡易高速分光エリプソメーター Alpha-SE
J.A.Woollam Co., Inc. 製
薄膜の膜厚 / 屈折率測定の機能をコンパクトなボディーに凝縮, 理想的なテーブルトップ分光エリプソメーター:新型Alpha-SEの登場です. WVASE32の解析ノウハウを継承するAlpha-SE専用ソフトウエアは多くの光学定数モデルに対応しており. 様々な膜材料, 屈折率傾斜膜, 表面 / 界面粗さなどの解析が可能です. コンピューターへのデータ取り込みは, USBで接続するだけです.
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赤外域- 多入射角分光エリプソメーター IR-VASE
赤外域- 多入射角分光エリプソメーター IR-VASE
J.A.Woollam Co., Inc. 製
IR-VASEは, 赤外領域の広い波長帯域 (2 ~ 33 μm) に対応することができる唯一の分光エリプソメーターです. IR-VASEは, FTIRが得意とする物質のキャラクタリゼーションはもちろんのこと, 多層膜構造を含む薄膜の膜厚 (d), 光学定数 (n, k) が決定できる強力な材料解析ツールです.
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真空紫外分光エリプソメーター VUV-VASE
真空紫外分光エリプソメーター VUV-VASE
J.A.Woollam Co., Inc. 製
VUV-VASEは, 真空紫外領域140 nmからの測定が可能な分光エリプソメーターです. 電子分極領域の正確な複素屈折率測定が可能なことから, リソグラフィー使用波長 (157 nm, 193 nm, 248nm) における光学定数決定, 半導体, 電気化学, ポリマー金属など多様な物質の物性解析に対応可能です. 第二世代VUV-VASEでは, φ300 mmサンプルまでの分光エリプソメトリー測定 / 透過率測定, 自動サンプルステージを用いた面内分布計測に対応可能です.
中央企業庁長官賞VUV-VASEは, 革新的な窒素充填システムによって分光エリプソメトリーの測定領域を140 nm以下の真空紫外域にまで拡張した功績が認められ, 2000年, R&D Awardを受賞しました.

自動多入射角分光エリプソメーター V-VASE
自動多入射角分光エリプソメーター V-VASE
J.A.Woollam Co., Inc. 製
V-VASEは,広い波長領域 (193 nm ~ 2200 nm) の全ての入射角で, 偏光解析パラメーターΨ, Δを高精度に測定することができる研究開発に最適な分光エリプソメーターです. 垂直サンプルステージ, 水平サプルステージの選択取付けが可能で, 自動マッピングステージ装着により面内分布測定にも対応できます. また, 集光オプションを使用することで, 微小領域における測定が可能です.

J.A.Woollam製分光エリプソメーター用特注架台
J.A.Woollam製分光エリプソメーター用特注架台
J.A.Woollam社製分光エリプソメーターM-2000シリーズを規格外の光学配置で使用したい場合,専用設計の分光エリプソメーター架台・光軸調整機構・ステージ類などが必要になります.テクノシナジーは,M-2000シリーズの性能を最大限に引き出すことができる専用架台の設計・製作が可能です. 写真は,赤外線加熱炉で加熱した高温状態のサンプルの光学定数スペクトルを求めるための専用架台です.

J.A.Woollam製分光エリプソメーター用特注ステージ
J.A.Woollam製分光エリプソメーター用特注ステージ
J.A.Woollam社製分光エリプソメーターM-2000シリーズを規格外の光学配置で使用したい場合,専用設計の分光エリプソメーター架台・光軸調整機構・ステージ類などが必要になります.テクノシナジーは,M-2000シリーズの性能を最大限に引き出すことができる専用ステージの設計・製作が可能です. 写真は,真空吸着サンプル面板・あおり調整用αβ傾斜ステージ付きの回転ステージです.

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