膜厚測定,光学定数測定,複素屈折率・複素誘電率シミュレーションのテクノ・シナジー

スペクトル解析システム


光学膜厚測定システム DF-1045シリーズ
光学膜厚測定システム DF-1045R
DF-1045シリーズは,反射率測定,透過率測定を両立させるシンプルな縦型光学ベンチを採用した光学膜厚測定システムです.柔軟性の高い測定光学系とスペクトルフィッティング解析ソフトウエアの連携により,様々な薄膜サンプルの膜厚/光学定数の測定が可能です. 汎用性ある光学ベンチは多彩な光学レイアウトに対応でき,目的に合わせたユニット構成でシステム提供いたします.高機能で柔軟性の高いスペクトル解析ソフトウエアSCOUTが,多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションへの対応を可能にします.

光学膜厚測定システム DF-1042RT
光学膜厚測定システム DF-1042RT
光学膜厚測定システムDF-1042RTは,反射率測定,透過率測定を両立させたスペクトル測定光学系とスペクトルフィッティング解析ソフトウエアの連携により,薄膜の膜厚/光学定数測定が可能な分光解析システムです.小型軽量のハードウエアには2台の小型CCD分光器が搭載でき,高速に透過率/反射率スペクトルを測定することができます.高機能で柔軟性の高いスペクトル解析ソフトウエアSCOUTが,多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションへの対応を可能にします.
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光学膜厚測定システム DF-1030R
光学膜厚測定システム DF-1030R
DF-1030Rは,反射率スペクトル測定光学系とスペクトルフィッティング解析ソフトウエアの連携により,薄膜の光物性(膜厚,光学定数)を簡単に測定することができる分光解析システムです.小型CCD分光器の採用により,A4サイズのフットプリント,高速スペクトル測定を実現しました.高機能で柔軟性の高いスペクトル解析ソフトウエアSCOUTを搭載しているので,多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションに対応できます.
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顕微分光システム DF-1037シリーズ
DF-1037シリーズ
DF-1037シリーズは,高性能な分光システムと高機能な顕微鏡システムを高い次元で融合させた顕微分光システムです.DF-1037シリーズには,新設計コールドフィルターWECFの採用による広帯域分光測定,高解像度デジタル画像撮影,スペクトル解析ソフトウエアSCOUTなど,高度なご要求にお答えする充実した機能が搭載されています.また,ニコン製顕微鏡をビルドアップしているため,顕微鏡の機能や拡張性を損なうことなく顕微分光測定を行うことができます.
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顕微分光システム DF-1037シリーズ (特注対応)
DF-1037シリーズ(特注対応)
DF-1037シリーズは,ユーザーの高度な測定ニーズに合わせた特注顕微鏡システムの構築が可能です.高性能な分光システム,高機能な顕微鏡システム,高度なスペクトル解析ソフトウエアと,ご要求に合わせたメカ設計/光学設計をトータルに融合させることで,市販品の改造では得られないハイスペックと使い勝手を実現します.

顕微光学膜厚測定システム DF-1035MR
顕微光学膜厚測定システム DF-1035MR
DF-1035MRは,ミクロ測定/マクロ測定が行える反射率スペクトル測定光学系にパワフルなスペクトル解析ソフトウエアSCOUTが搭載された薄膜の光物性(膜厚,光学定数)測定システムです.A4サイズのマクロ測定部と顕微分光反射率測定/試料観察が可能なミクロ測定部は,光ファイバーを差し替えるだけで簡単に切り替えられます.高機能で柔軟性の高いSCOUTは,多層膜解析を始めとする様々な膜解析アプリケーションに対応します.

光学膜厚モニター DF-1040
光学膜厚モニター DF-1040
光学膜厚モニターDF-1040Rは,成膜装置から薄膜試料を取り出すことなく,膜厚/光学定数を迅速に測定することができる膜厚モニタリングシステムです.小型CCD分光器の採用により,B5サイズのフットプリント,高速スペクトル測定を実現しました.成膜装置に最適な集光光学系の設計,被測定試料に合わせた光学モデル,ご希望の測定シークエンス,アウトプット形式に対応いたします.

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