膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

スペクトル解析ソフトウェア SCOUTユーザーのための技術情報スクエア SCOUT倶楽部

SCOUT講座2 「SCOUTクイックスタート」(5/13)

8. 層構造の構築:膜物質の指定

次に, 追加した層に物質を指定します. 先ほど用意した Materials ウインドの物質 ( BK7 と TiO2 ) を Layer stack のそれぞれの層にドラグ&ドロップします.
ドラグ&ドロップで膜物質を指定ドラグ&ドロップで膜物質を指定

9. スペクトル計算範囲の設定

メインウインドの Spectral range コマンドでスペクトル計算範囲 (最小値, 最大値) と計算ポイント数の入力, 横軸単位の選択を行います. スペクトル横軸単位は, 読み込む測定スペクトルに合わせてください. 選択できるスペクトル横軸単位は, [ nm ], [ 1/cm ], [ eV ], [ micron ], [ THz ], [ None ] です.
'スペクトル横軸単位の選択スペクトル横軸単位の選択
計算範囲は, 物質ライブラリーデータ (この場合, BK7 と TiO2 の光学定数ライブラリーデータ) がカバーするスペクトル領域より, 狭く設定する必要があります. この場合, 下図のようにスペクトルレンジを設定してください. 計算ポイント数は, 通常, 100 ~ 数百ポイント程度が適当でしょう.
スペクトルレンジ設定スペクトルレンジ設定

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