膜厚測定，分光測定，分光エリプソメトリー，スペクトル解析のテクノ･シナジー

膜属性が Simple layer の場合, 膜が可干渉であるか否かの設定を行うことができます. 膜の干渉 (Coherent) / 非干渉 (Incoherent) は, Layer stack ウインドの Superposition で設定します. 注目層の Superposition 項をカーソルでハイライトさせた状態で, F4 キーまたは F5 キーを押すと, Coherent / Incoherent がトグルスイッチで切り替わります. 上図では, 1 mm 厚の BK7 基板の裏面反射を非干渉光として計算させるために, Incoherent を選択しています.
通常, 1 mm 程度の厚さがある透明基板の場合, Incoherent を選択します. 次の図は, 例題の 1 mm 厚の BK7 基板に対して Coherent を選択した場合と Incoherent を選択した場合で, 得られるシミュレーションスペクトルの違いを示したものです. Coherent を選択した場合, 実際の測定スペクトルでは観測されない非常に細かい干渉フリンジが発生しています.

メイン画面のメニューで, Object から Fit parameters ウインドを開き, Fit parameters ウインドの New コマンドでパラメーター選択画面を表示します. パラメーター選択画面では, 今まで設定してきた Materials, Layer stacks, Spectra の順にパラメーターが並んでいます. 選ぶべき複数のパラメーターを「 Control キー ＋ 左クリック」で選択して, 選択し終わったら OK ボタンでウインドを閉じてください.