膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

スペクトル解析ソフトウェア SCOUTユーザーのための技術情報スクエア SCOUT倶楽部

SCOUT講座2 「SCOUTクイックスタート」(9/13)

SCOUTのワークブックに戻ります.workbookウインドを一番手前に出してください. ワークブックの1行A列をマークした状態で,クリップボードのデータをペースト(Ctrl+Vボタン)します. 測定反射率スペクトルデータをワークブックにペーストすると,下図のようになります.
ワークブックへのデータ読み込みワークブックへのデータ読み込み
R spectrumウインドにインポートするスペクトルデータの読み込み開始セルを指定します. 例えば,短波長側から10波長までのスペクトルデータのSNが悪く信頼性が無い場合など,読み込み開始セルに11行A列を指定すれば,11行目のデータから読み込んでくれます. これは,分光光度計のテキスト書き出しファイルで,ヘッダーが書かれている場合にも応用できます.データの読み込み開始セルを指定すれば,不要なヘッダーを読み飛ばすことができます(スペクトルデータの最後に,”end of data”などデータ以外の文字が入っていては正常に読み込めません.注意してください)
ここでは,ワークブックの 1 行 A 列をマークした状態で, R spectrum ウインドの Workbook | Import xy コマンドを実行しましょう.
Workbook | Import xy コマンドWorkbook | Import xy コマンド
R spectrum ウインドに測定反射率データがインポートされ, 測定スペクトル (赤) , シミュレーションスペクトル (青) は, 重ね書き表示されます. 現時点では, 膜厚などのシミュレーションパラメーター値が実際の膜とずれているため, 異なる干渉波形を示しています.
測定反射率スペクトルとシミュレーションスペクトル測定反射率スペクトルとシミュレーションスペクトル

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