SCOUT講座2 「SCOUTクイックスタート」（10/13）
16. フィッティング条件
Fit parameters ウインドで選択した各パラメーターの初期値, 収束条件を決めます. 初期値は, 測定スペクトルとシミュレーションスペクトルの重ね書きグラフを見ながらパラメーターを変化させ, できるだけ測定スペクトルに近い状態を初期値としてください. その際, Slider が有効です. 一方, 各パラメーターの収束条件は, F4 / F5 ボタンで選択します. 使用頻度の高い収束条件は次の通りです.
フィットパラメーター設定
図では, TiO2 の膜厚が Grid ( 50 points ), 入射角が Downhill simplex に設定してあります. TiO2の膜厚は, まず下限値 50 nm と上限値 500nm を 50 分割し最適初期値を検索してから Downhill simplex でフィッティングを行います. ここでは, 入射角を Frozen に設定しておきましょう.
※設定法の詳細は SCOUT 技術マニュアルをご参照ください.
- Downhill simplex ： パラメーターを自動的に最適化フィッティング
- Frozen ： パラメーターを固定
- Grid (x points) ： 下限値/上限値を x 等分し初期値を検索後にフィッティング
フィットパラメーター設定
※設定法の詳細は SCOUT 技術マニュアルをご参照ください.
17. フィッティング
メイン画面の Start ボタンでフィッティングを開始します.
メイン画面の Start ボタン
SCOUT は, Fit parameters ウインドで設定されたパラメーターの収束条件に基づき, 自動的にパラメーター値の最適化を行います.
スペクトルフィッティング
メイン画面の Start ボタン
スペクトルフィッティング
