膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

スペクトル解析ソフトウェア SCOUTユーザーのための技術情報スクエア SCOUT倶楽部

SCOUT講座2 「SCOUTクイックスタート」(13/13)

21. 解析結果の出力 (ファイル保存)

解析結果は, ワークブックから Microsoft Excel , タブ区切りテキストなどのファイル形式で書き出すことが可能です.
Workbook のファイル保存ダイアログWorkbook のファイル保存ダイアログ

22. 解析結果の出力 (コピー&ペースト)

解析結果のうち, あるワークシート, または, 必要な部分をマークした状態で, メニューの Copy コマンドを用いて, Excel などのソフトウエアにクリップボード経由でコピー&ペーストすることができます
必要領域のみクリップボードにコピー必要領域のみクリップボードにコピー
※ SCOUT では, コピー&ペーストに対応する Windows のショートカットキー ( CtrlC, CtrlV ) が割り当てられていませんので, メニューの Copy コマンド, Paste コマンドを使って操作を行ってください.
次にグラフは, TiO2 の光学定数スペクトルをコピー&ペーストで Microsoft Excel に書き出してグラフ化した例です.
Microsoft Excel でグラフ化した TiO2 の光学定数スペクトル
Microsoft Excel でグラフ化した TiO2 の光学定数スペクトル
光学定数以外のスペクトル解析情報も, Woorkbook を経由して汎用のソフトウエアに書き出すことが可能です.
ここでは, BK7 基板上の TiO2 膜の反射率スペクトル解析を例にした SCOUT クイックスタートについて説明してきました.
SCOUT は非常に高い柔軟性と多彩な機能が実装されたスペクトル解析ソフトウエアですので, 十分に活用していただくためには, SCOUT 技術マニュアルなどの付属マニュアルをご参照ください. 特に, 付属の SCOUT チュートリアルには, 入門的な例題を使って SCOUT の基本操作法が説明されています. 実際の解析を開始するのに先立ち, チュートリアルを演習しながらご一読頂くことをお勧めします.

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