コンピュータシミュレーションによる光学スペクトル分析-- その基礎からバッチモードまで --
はじめに
本 Web セミナーの内容は, Wolfgang Theiss 著,
Analysis of optical spectra by computer simulation - from basics to batch mode（PDF） の内容を, テクノ・シナジーが日本語化し要約したものです.
〔原著の前書きから〕
この文章は, いくつかのスペクトルシミュレーションに関する文章や話題を手短にまとめたものです. すべての図はスクリーンショットそのもので, この文章のためにわざわざ用意したものではありません. 図と図の間には, あなたをスライドからスライドへと導くコメントがあります. 光学定数を表示したグラフでは, その実部 (屈折率) が青で描かれ, 虚部 (消衰係数) が赤で示されています. スペクトルフィッティングの場合には, 常に, 測定スペクトルが赤, シミュレーションスペクトルが青で示されます. 全てのシミュレーションは, スペクトル解析ソフトウエア SCOUT を用いて計算を行っています.
※ SCOUT は, テクノ・シナジーから購入することができます. >> 製品紹介ページへ
※図８のみコーティングデザイナー CODE を使用しています.
【ご注意】
Analysis of optical spectra by computer simulation - from basics to batch mode（PDF） の内容を, テクノ・シナジーが日本語化し要約したものです.
〔原著の前書きから〕
この文章は, いくつかのスペクトルシミュレーションに関する文章や話題を手短にまとめたものです. すべての図はスクリーンショットそのもので, この文章のためにわざわざ用意したものではありません. 図と図の間には, あなたをスライドからスライドへと導くコメントがあります. 光学定数を表示したグラフでは, その実部 (屈折率) が青で描かれ, 虚部 (消衰係数) が赤で示されています. スペクトルフィッティングの場合には, 常に, 測定スペクトルが赤, シミュレーションスペクトルが青で示されます. 全てのシミュレーションは, スペクトル解析ソフトウエア SCOUT を用いて計算を行っています.
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【ご注意】
- 原著の著作権は著者 Wolfgang Theiss が所有し, その日本における翻訳権, 出版権は有限会社テクノ・シナジーが所有しています. 原著は, 「著作権法」によって著作権等の権利が保護されている著作物です. 本 Web セミナーの全部または一部について無断で転載, 複写複製, 電子的装置への入力等をされますと, 著作権等の権利侵害となる場合がありますのでご注意ください.
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目次
- 2.なぜスペクトルシミュレーションを用いるか？
- 2.1 あらまし
- 2.2 多層膜積層構造 (他に解析手段がない)
- 2.3 単純な分析法の近似は避けよう
- 2.4 分光計ハードウエアのチェックにスペクトルシミュレーションを使おう
- 2.5 スペクトルシミュレーションは非常に教育的
- 2.6 薄膜デザインの事前予測としてのスペクトルシミュレーション
- 3. スペクトルシミュレーションの基礎
- 3.1 あらまし
- 3.2 光学定数
- 3.3 積層膜, 光の伝播
- 3.4 スペクトル
- 3.5 パラメーターフィッティング
- 4. 成功の鍵：光学定数モデル
- 4.1あらまし
- 4.2 Drude モデル
- 4.3 振動子モデル
- 4.4 内部バンド間遷移モデル
- 4.5 組成変化：マスターモデル
- 4.6 複合材料：有効誘電関数
- 5. 実例
- 5.1 あらまし
- 5.2 バッチフィットの例
- 5.3 エリプソメトリー：未知半導体の解析
- 5.4 複数スペクトルの同時解析
