膜厚測定,光学定数測定,複素屈折率・複素誘電率シミュレーションのテクノ・シナジー

測定解析サービス


分光エリプソメトリー測定解析
分光エリプソメトリー測定解析
薄膜サンプルや複雑な層構造を持つサンプルの膜厚,光学定数測定には,分光エリプソメトリーが力を発揮します.半導体の電子分極領域の解析に必要なディープUV領域から,有機物のキャラクタリゼーション,半導体不純物キャリア濃度測定に有効なIR領域に至る全ての波長帯における測定・解析に対応いたします.J. A. Woollam製多入射角高速分光エリプソメーターを用いることで,多層膜サンプル,光学異方性サンプル,屈折率傾斜膜サンプルなどの高度な解析要求にお答えします.薄膜測定でお困りでしたら,ご相談ください.最適な解析ソリューションを提案させていただきます.

反射率スペクトル / 透過率スペクトル測定
反射率スペクトル / 透過率スペクトル測定
可視領域(約400nm ~1000nm)の反射率スペクトル / 透過率スペクトル測定・解析サービスをリーズナブルな価格で提供します.CCD分光光学系とスペクトルフィッティング解析ソフトウエアSCOUTの連携により,薄膜の膜厚,光学定数を求めることができます.数10nm以上の比較的厚い膜サンプルであれば,反射率スペクトル / 透過率スペクトルから,膜厚,光学定数を精度良く解析できる場合も少なくありません.薄膜測定でお困りでしたら,ご相談ください.最適な解析ソリューションを提案させていただきます.

顕微分光測定
顕微分光測定
顕微分光システムDF-1037シリーズを使用して,測定スポット径約φ10μmにおける可視領域(約400nm ~950nm)の顕微分光測定が可能です.対応可能な測定モードは,透過スペクトル測定,反射スペクトル測定,偏光透過スペクトル測定,偏光反射スペクトル測定です(測定波長領域は,測定モード,サンプル状態により変わります).反射スペクトル測定の場合,顕微干渉分光法を用いて,サンプル膜厚,光学定数を求めることができます.また,サンプル上の分光測定領域をデジタル画像で記録することが可能です.

スペクトルデータ依頼解析
スペクトルデータ依頼解析
過去20年以上に渡る分光システム開発,光計測装置開発,分光エリプソメーター開発,各種光学アプリケーション開発などの豊富な経験を活かし,あなたのスペクトル解析をお手伝いします.透過率スペクトル,反射率スペクトル,吸収スペクトル,分光エリプソデータなどの測定スペクトルに対して,光学モデルシミュレーションをベースにしたスペクトルフィッティング解析を行います.「分光光度計の測定スペクトルから膜厚を決定したい」,「分光光度計は所有しているが,スペクトル解析の仕方が分からない」,「スペクトルから光学定数を求めたい」などでお困りでしたら,ご連絡ください.

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