膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

測定解析サービス

膜厚測定,屈折率測定(分光干渉法)

膜厚測定,屈折率測定
膜厚測定システムを利用した可視領域:約380nm ~1000nmの反射率スペクトル,透過率スペクトル,吸収スペクトルから膜厚,光学定数を求めるサービスです.数10nm以上の比較的厚い膜サンプルであれば,反射率スペクトル / 透過率スペクトルから,膜厚,光学定数を精度良く解析できる場合も多く,スペクトルフィッティング解析ソフトウエアSCOUTを使用して,薄膜の膜厚,光学定数を求めることができます.薄膜測定でお困りでしたら,ご相談ください.最適な膜計測ソリューションを低価格でご提供いたします.

分光エリプソメトリー測定解析

分光エリプソメトリー測定解析
薄膜サンプルや複雑な層構造を持つサンプルの膜厚,光学定数測定には,分光エリプソメトリーが力を発揮します.半導体の電子分極領域の解析に必要なディープUV領域から,有機物のキャラクタリゼーション,半導体不純物キャリア濃度測定に有効なIR領域に至る全ての波長帯における測定・解析に対応いたします.J. A. Woollam製多入射角高速分光エリプソメーターを用いることで,多層膜サンプル,光学異方性サンプル,屈折率傾斜膜サンプルなどの高度な解析要求にお答えします.薄膜測定でお困りでしたら,ご相談ください.最適な解析ソリューションを提案させていただきます.

顕微分光測定

顕微分光測定
顕微分光システムDF-1037シリーズを使用して,測定スポット径:約φ2µm〜φ100µmにおける可視領域:約400nm ~950nmにおける顕微分光測定が可能です.対応可能な測定モードは,透過スペクトル,反射スペクトル,偏光透過スペクトル,偏光反射スペクトル,フォトルミネッセンススペクトルなどです(測定波長領域は,測定モード,サンプル状態により変わります).反射スペクトル測定の場合,顕微干渉分光法を用いて,サンプル膜厚,光学定数を求めることができます.また,測定サンプル面のデジタル画像撮影が可能です.

分光測定

分光測定
膜厚測定システムを利用した可視領域:約380nm ~1000nmの反射率スペクトル,透過率スペクトル,吸収スペクトル,発光スペクトルなどのスペクトル測定・解析サービスをリーズナブルな価格で提供します.測定領域:φ1〜φ5mm程度のコリメート光を使いた同一スポットでの透過率・反射率測定に対応できます.さらに,スペクトルフィッティング解析ソフトウエアSCOUTを使用することで,薄膜の膜厚,光学定数を求めることができます.分光測定でお困りでしたら,ご相談ください.最適な分光システムでの測定を提案させていただきます.

スペクトル解析・スペクトルシミュレーション

スペクトル解析
30年以上に渡る分光システム開発,光計測装置開発,分光エリプソメーター開発,各種光学アプリケーション開発などの豊富な経験を活かし,あなたのスペクトル解析をお手伝いします.透過率スペクトル,反射率スペクトル,吸収スペクトル,分光エリプソデータなどの測定スペクトルに対して,光学モデルシミュレーションをベースにしたスペクトルフィッティング解析を行います.「分光光度計の測定スペクトルから膜厚を決定したい」,「分光光度計は所有しているが,スペクトル解析の仕方が分からない」,「スペクトルから光学定数を求めたい」など分光解析でお困りでしたらご連絡ください.

※サンプル形状,波長範囲など測定のご要求に可能な限り対応いたします.
測定の詳細についてはお問い合わせください.
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