膜厚測定,光学定数測定,複素屈折率・複素誘電率シミュレーションのテクノ・シナジー

SCOUT倶楽部
論文紹介
SCOUT,CODE,SPRAYを用いてスペクトル解析が行われている論文・解説記事の紹介です.ソフトウエア活用のご参考になれば幸いです.紹介論文・解説記事のうち,別刷りまたはPDFファイルが準備されているものもありますので,ご興味のある方はお問い合わせください.また,ユーザーの皆様が,W. Theiss Hard- and Software製ソフトウエアを解析に用いた論文・解説記事などを執筆された場合には,ご一報ください.本コーナーで紹介させていただきたいと思います.

関連論文

■H. Hiramatsu, K. Ueda, H. Ohta, M. Hirano, M. Kikuchi, H. Yanagi, T. Kamiya, and H. Hosono: "Heavy hole doping of epitaxial thin films of a wide gap p-type semiconductor, LaCuOSe, and analysis of the effective mass", Appl. Phys. Lett. 91, 012104 (2007).
■ N. Nagai, R. Fukasawa: "Abnormal dispersion of polymer films in the THz frequency region", Chem. Phys. Lett. 388 (2004) 479-482.
■ N. Nagai, H. Okumura, T. Imai, I. Nishiyama: "Depth profile analysis of the photochemical degradation of polycarbonate by infrared spectroscopy", Polymer Degradation and Stability 81 (2003) 491-496.
■ N. Nagai, T. Imai, K. Terada, H. Seki, H. Okumura, H. Fujino, T. Yamamoto, I. Nishiyama and A. Hatta: "Depth profile analysis of ion-implanted photoresist by infrared spectroscopy", Surf. Interface Anal. 34 (2002) 545-551.
■ N. Nagai: "Depth Profile Analysis by Infrared Spectroscopy", Anal. Sci. 17 (2001) 671-674.


解説・講演予稿

■ 田所利康:「分光・偏光を用いた薄膜・界面解析の実際」,日本学術振興会142委員会A部会・B部会・C部会合同研究会(2006年7月21日)東京理科大学森戸記念館.
■ 田所利康:「顕微分光法を用いたシャボン膜経時変化の解析」, 日本液晶学会討論会 (2013) 大阪大学, 3b07.
ページの先頭へ