はじめに

干渉分光法を使った膜厚測定は，非接触・非破壊，簡便かつ高精度な膜厚測定が可能です．　誘電体，半導体など様々な膜材料の測定ができ，広い膜厚測定レンジに対応できるなど多くの特長があります．　また，干渉分光法では，膜厚測定だけではなく，測定波長領域における光学定数 （屈折率： n ，消衰係数： κ ） のスペクトルを測定することができます．
本講座では，膜厚測定や干渉分光法について基礎からやさしく解説します．

目次