膜厚測定,分光測定,分光エリプソメトリー,スペクトル解析のテクノ・シナジー

スペクトル解析ソフトウェア SCOUTユーザーのための技術情報スクエア SCOUT倶楽部

SCOUT講座2 「SCOUTクイックスタート」(4/13)

6. 物質の誘電関数データ

Material ウインドで物質を選択して, ハンマー型のツールボタンまたは, Edit コマンドで, 誘電関数ウインドが開きます.
誘電関数ウインド 誘電関数ウインド

7. 層構造の構築

メインウインドの Object から Layer Stacks ウインドを開いて, サンプルの層構造を記述するための Layer Stack を選択します. 通常は, デフォルトの Layer Stack を使用します. ここで, デフォルトのレイヤースタック名:'Layer Stack' を別の名前に変更することもできます.
Layer Stacks ウインドLayer Stacks ウインド
Layer Stacks ウインドのハンマー形のツールボタン, または, Edit コマンドで, 'Layer Stack' ウインドを開くことができます. このウインドでサンプルの層構造を記述します.
'Layer Stack' ウインド'Layer Stack' ウインド
'Layer Stack' ウインドでは, 光束はレイヤースタックの上方から入射されます. プルダウンメニューで膜の属性を選択して, 2つの Halfspace の間に, " + " ボタンで層を挿入していきます. 追加された層は, カーソル注目行の上に挿入されます. プルダウンメニューで選べる膜の属性は数多くありますが, よく使用するシンプルな膜タイプは, 次の3種類です.
  • Thin film: nm オーダーの干渉性の層
  • Thick layer: mm オーダーの非干渉性の層 (基板)
  • Simple layer: μm オーダーの層. 干渉性の設定が可能

ここでは, 1 mm 厚の BK7 基板上に成膜された TiO2 膜ですので, 基板に Simple layer , 膜に Thin film を指定することにします (基板は, 可干渉性について説明するため, あえて Simple layer にしました) . 基板と膜の2層が追加された 'Layer Stack' ウインドは次のようになります.
層が追加された 'Layer Stack' ウインド層が追加された 'Layer Stack' ウインド

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