膜厚測定，分光測定，分光エリプソメトリー，スペクトル解析のテクノ･シナジー

本例題では, 固定データの光学定数を用いましたが, 誘電関数モデルの用いたスペクトルフィッティング解析では, 膜の光学定数を求めることができます. ここでは, 収束計算により得られた膜の光学定数スペクトルを書き出す方法について説明します.
その準備として, Workbook に新しいワークシートを追加しましょう. Workbook のシートエリア内で, マウス右ボタンをダブルクリックして Workbook 編集画面 ( Formula One Workbook Designer ) に入ってください. メニューのSheet | Insert Sheet コマンドでワークシートを追加してから, Workbook 編集画面を閉じて元の Workbook に戻りましょう. シート名を変更するには, シートタブを左ダブルクリックして名前を入力します. 名前は, 英数文字で表記してください. 次に, Materials ウインドから光学定数スペクトルを書き出したい層物質のウインドを Edit コマンドで開いてください.
メニューの Workbook | Open workbook コマンドでワークブックを開き, 書き込みたいシートの 1 行 A 列をマークした状態で, Workbook | Export x, n, k コマンドを実行すると, 光学定数スペクトルが Workbook に書き出されます.