膜厚測定，分光測定，分光エリプソメトリー，スペクトル解析のテクノ･シナジー

選択パラメーターがリストされた Fit parameters ウインドで, 値を変化させたいパラメーター (例えば, TiO2 膜の膜厚) をクリックした状態で Slider コマンドを押すと, スライダーウインドがポップアップします. スライダーを用いると, リアルタイムにスペクトル変化を表示させながら, 設定した下限値, 上限値の範囲で, 連続的にパラメーターを動かすことができます. スライダーの下限値, 上限値は, 手入力, 拡大ボタン "< >" , 縮小ボタン "> <" , 右シフトボタン ">" (パラメーターの現在値を中央にして右にレンジシフト) , 左シフトボタン "<" (パラメーターの現在値を中央にして左レンジシフト) で設定します.

解析のターゲットとなる測定スペクトルを読み込みます. R spectrum ウインドメニューの Workbook | Open workbook コマンドでワークブックを開いてください. Excel ライクなワークブックが現れます. ※ここでは, ダミー測定データを使って, 解析を進めていきましょう. 次のリンクをタブ区切りテキストデータとして保存してください.

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>>　ダミー測定データ・ダウンロード：TiO2 / BK7 基板反射率スペクトル　

まず，ダミー測定データ（Dummy_data-tio2_on_BK7.txt）をテキストエディタ，Excelなどで開いてください． テキストエディタの場合は全選択（Ctrl＋Ａボタン）でデータを選択，Excelの場合はデータがあるＡ列とＢ列を選択して，ダミー測定データをクリップボードにコピー（Ctrl＋Ｃボタン）します．